Guida all'elipsometria

Recensioni dei lettori

Il libro è molto apprezzato dagli utenti per la sua chiara introduzione all'ellissometria, che fornisce conoscenze pratiche e approfondimenti particolarmente utili per i principianti. Include i concetti di base, le equazioni e i casi di studio, rendendola una guida completa, sebbene sia limitata alle misure di una singola lunghezza d'onda.

⬤ Eccellente introduzione per i principianti dell'ellissometria.
⬤ Spiegazioni chiare dei concetti fondamentali e delle equazioni di base.
⬤ Approccio pratico che affronta le difficoltà sperimentali.
⬤ Validi casi di studio per applicare le conoscenze.
⬤ Buon prezzo e consegna veloce.

⬤ Limitato a strumenti a singola lunghezza d'onda e singolo angolo.
⬤ Non copre l'ellissometria spettroscopica, che è sempre più comune.

(basato su 7 recensioni dei lettori)

Titolo originale:

A User's Guide to Ellipsometry

Contenuto del libro:

Questo testo di ottica per studenti laureati spiega come determinare le proprietà e i parametri dei materiali per substrati inaccessibili e film sconosciuti, nonché come misurare film estremamente sottili. I 14 casi di studio illustrano i concetti e rafforzano le applicazioni dell'ellissometria, in particolare in relazione all'industria dei semiconduttori e agli studi sulla corrosione e sulla crescita degli ossidi.

A User's Guide to Ellipsometry consentirà ai lettori di andare oltre le limitate applicazioni chiavi in mano degli ellissometri. Oltre a trattare in modo esauriente la misurazione dello spessore del film e delle costanti ottiche, il volume esamina anche le traiettorie dei parametri ellissometrici Del e Psi e il modo in cui le variazioni dei materiali influiscono sui parametri.

Il volume affronta anche l'uso del polisilicio, un materiale comunemente impiegato nell'industria microelettronica, e gli effetti della rugosità del substrato. Tre appendici forniscono utili riferimenti.