Ellissometria spettroscopica: Applicazione pratica alla caratterizzazione dei film sottili

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Titolo originale:

Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization

Contenuto del libro:

L'elipsometria è una tecnica sperimentale per determinare lo spessore e le proprietà ottiche dei film sottili.

È ideale per film di spessore compreso tra il sub-nanometro e diversi micron. Le misure spettroscopiche hanno ampliato notevolmente le capacità di questa tecnica e ne hanno introdotto l'uso in tutti i settori in cui si trovano i film sottili: dispositivi a semiconduttore, schermi piatti e mobili, pile di rivestimenti ottici, rivestimenti biologici e medici, strati protettivi e altro ancora.

Sebbene esistano diversi libri accademici sull'argomento, questo libro fornisce una buona introduzione alla teoria di base della tecnica e alle sue applicazioni più comuni. Il pubblico a cui si rivolge non è quello degli studiosi di ellissometria, ma quello degli ingegneri di processo e degli studenti di scienze dei materiali che sono esperti nei loro campi e desiderano utilizzare l'ellissometria per misurare le proprietà dei film sottili senza diventare esperti di ellissometria stessa.