Introduzione alla spettrometria di massa a ioni secondari a tempo di volo (Tof-Sims) e alla sua applicazione alla scienza dei materiali

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Titolo originale:

An Introduction to Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (Tof-Sims) and Its Application to Materials Science

Contenuto del libro:

Questo libro illustra l'applicazione della spettrometria di massa a ioni secondari a tempo di volo (ToF-SIMS) per l'analisi superficiale ad alta risoluzione e la caratterizzazione dei materiali.

Oltre a fornire una breve panoramica dei principi della SIMS, fornisce anche esempi di come la ToF-SIMS a doppio raggio viene utilizzata per studiare una serie di sistemi e proprietà di materiali. Nel corso degli anni, la strumentazione SIMS è cambiata radicalmente da quando sono stati sviluppati i primi spettrometri di massa a ioni secondari.

Un tempo gli strumenti erano dedicati alla profilatura in profondità dei materiali, utilizzando correnti ad alto flusso di ioni per analizzare le regioni dalla superficie alla massa dei materiali (SIMS dinamico), oppure strumenti a tempo di volo che producevano spettri di massa complessi della superficie più esterna dei campioni, utilizzando correnti a fascio molto basso (SIMS statico). Ora, con lo sviluppo di strumenti a doppio raggio, questi due campi distinti si sovrappongono.