Epitassia: Principi fisici e implementazione tecnica

Titolo originale:

Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation

Contenuto del libro:

In modo uniforme e completo gli autori descrivono tutti gli aspetti importanti dei processi di crescita epitassiale di film solidi su substrati cristallini, ad esempio i processi in cui gli atomi del film in crescita imitano la disposizione degli atomi del substrato.

L'accento è posto su una presentazione sufficientemente fondamentale e inequivocabile dell'argomento, sotto forma di rassegna di facile lettura. Gran parte del libro si concentra sui problemi dell'eteroepitassia.

Le più importanti tecniche di crescita epitassiale, attualmente ampiamente utilizzate nella ricerca di base e nei processi di produzione dei dispositivi, sono presentate e discusse in dettaglio.