Un profilometro ottico per condizioni di ultra alto vuoto - Progettazione, costruzione e implementazione

Titolo originale:

An Optical Profilometer for Ultra HighVacuum Conditions - Design, Construction, and Implementation

Contenuto del libro:

Per comprendere il nostro mondo, è essenziale conoscere le leggi della natura. Nel corso dei secoli queste leggi sono state dedotte dalle misurazioni, ma ci sono ancora molte questioni aperte.

Una di queste questioni aperte è la misurazione esatta dei profili in condizioni di estrema pulizia, che viene qui risolta. Questo libro descrive in dettaglio la progettazione, la costruzione e l'implementazione di un profilometro ottico in grado di misurare profili superficiali complessi in condizioni di vuoto spinto. Il profilo della superficie (nel vuoto) è ottenuto mediante la scansione di un sensore ottico attraverso una finestra.

Lo strumento è stato progettato con l'obiettivo di caratterizzare wafer di silicio deformati elettrostaticamente. Per piegare i wafer selezionati nella forma desiderata è necessario un campo elettrico sintonizzabile fino a 25 MV/m.

Per evitare la rottura elettrica del campo elettrostatico è necessario un ambiente UHV pulito. Questo libro dovrebbe essere interessante per scienziati, ingegneri e chiunque sia interessato alla misurazione.