Tecnologia di fabbricazione dei circuiti integrati III-V

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Titolo originale:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Contenuto del libro:

La lavorazione del GaAs ha raggiunto una fase matura.

Stanno emergendo nuovi composti semiconduttori che domineranno la ricerca futura sui materiali e sui dispositivi, anche se le tecniche di lavorazione utilizzate per il GaAs continueranno ad essere rilevanti. Questo libro copre tutti gli aspetti dell'attuale stato dell'arte della lavorazione dei III-V, con particolare attenzione agli HBT.

Si rivolge a ingegneri praticanti e a studenti laureati e ingegneri che si avvicinano al campo della lavorazione dei circuiti integrati a semiconduttori III-V. Lo scopo principale del libro è quello di discutere tutti gli aspetti della lavorazione dei dispositivi attivi e passivi, dalla crescita dei cristalli alla lavorazione del retro, comprese la litografia, l'incisione e la deposizione di film.