Scariche a microonde - Teoria e applicazioni (Plasma Physics Series)

Titolo originale:

Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)

Contenuto del libro:

Citando dalla prefazione, "La maggior parte degli autori di questo libro sono noti specialisti in diverse aree della fisica del plasma a microonde, della tecnica e del trattamento del plasma.

Gli argomenti trattati coprono tutti i problemi della teoria, degli esperimenti e delle applicazioni delle scariche a microonde e forniscono lo stato dell'arte della teoria, della modellazione e della diagnostica delle scariche, dei metodi di generazione del plasma a microonde, delle scariche a microonde ad alta e bassa pressione, dell'interazione delle microonde con il plasma, delle applicazioni del plasma a microonde (trattamento delle superfici, incisione, deposizione di film, crescita di strutture, sorgenti di luce, chimica analitica, ecc. ) Ci auguriamo che questo libro sia utile a tutti gli specialisti che lavorano nel campo della fisica e della lavorazione del plasma a bassa temperatura.