Titolo originale:
Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Contenuto del libro:
Presenta tutte le fasi principali della produzione di wafer, dai cristalli ai wafer di prima scelta.
Il libro illustra innanzitutto la fisica, la metrologia associata, la modellazione del processo e i requisiti di qualità, per poi passare a discutere le tecniche di formatura e di preparazione della superficie dei wafer. Il tutto è completato da un capitolo sulla ricerca e sulle sfide future nella produzione dei wafer.
