Microscopia elettronica a scansione

Titolo originale:

Scanning Electron Microscopy

Contenuto del libro:

I fasci di elettroni e ioni a focalizzazione fine costituiscono una parte inevitabile dei metodi e degli strumenti utilizzati in vari campi scientifici. I SEM sono ben strumentati e integrati con tecniche e metodi avanzati e presentano quindi infinite possibilità nelle aree della misurazione quantitativa delle topologie degli oggetti, dell'imaging delle superfici, dell'analisi degli elementi e delle caratteristiche elettrofisiche locali delle strutture dei semiconduttori.

La creazione di micro e nanostrutture implica un uso estensivo del fascio elettronico focalizzato. Questo libro si concentra su varie questioni relative alla microscopia elettronica a scansione, coprendo sia gli aspetti teorici che quelli pratici.

Numerosi argomenti sono organizzati in due sezioni, Scienza dei materiali e Materiali nanostrutturati per l'industria elettronica. Il libro include contributi di rinomati ricercatori ed esperti del settore.