Metrologia delle deformazioni dei semiconduttori: Principi e applicazioni

Titolo originale:

Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications

Contenuto del libro:

Questo libro esamina le principali tecniche e quelle di recente sviluppo per la metrologia delle deformazioni dei semiconduttori.

La metrologia delle deformazioni dei semiconduttori è emersa negli ultimi anni come un argomento di grande interesse per i ricercatori che si occupano della caratterizzazione di film sottili e dispositivi su scala nanometrica. Questo libro impiega un approccio tutoriale per spiegare i principi e le applicazioni di ciascuna tecnica, specificamente adattato a studenti laureati e ricercatori post-dottorato.

Gli argomenti selezionati includono tecniche ottiche, a fascio di elettroni, a fascio di ioni e a raggi X di sincrotrone. A differenza di precedenti riferimenti, questo libro tratta in modo specifico e approfondito la metrologia delle deformazioni applicata ai dispositivi a semiconduttore.