MEMS piezoelettrici

Titolo originale:

Piezoelectric MEMS

Contenuto del libro:

I trasduttori elettromeccanici basati su strati e film sottili piezoelettrici si stanno continuamente diffondendo nei sistemi microelettromeccanici (MEMS). I trasduttori piezoelettrici hanno una risposta lineare alla tensione, non hanno un comportamento a scatto e possono fornire forze sia attrattive che repulsive. Ciò elimina le limitazioni fisiche intrinseche presenti nell'approccio dei trasduttori elettrostatici comunemente utilizzati, pur mantenendo proprietà vantaggiose come il funzionamento a basso consumo. Per sfruttare appieno il potenziale dei MEMS piezoelettrici, gli sforzi di ricerca interdisciplinari vanno dalla ricerca di materiali piezoelettrici avanzati alla progettazione di nuovi dispositivi MEMS piezoelettrici per sensori e attuatori, fino all'integrazione dei dispositivi PiezoMEMS in sistemi a basso consumo. In questo numero speciale verrà presentato lo stato attuale di questo entusiasmante campo di ricerca, che copre un'ampia gamma di argomenti tra cui, ma non solo:

- Ricerca sperimentale e teorica sui materiali piezoelettrici come AlN, ScAlN, ZnO o PZT, PVDF con particolare attenzione all'applicazione dei dispositivi MEMS.

- Tecniche di deposizione e sintesi di materiali piezoelettrici che consentono l'integrazione di tali materiali nei processi di fabbricazione dei MEMS.

- Modellazione e simulazione di dispositivi e sistemi MEMS piezoelettrici.

- Risonatori MEMS piezoelettrici per la misurazione di grandezze fisiche quali massa, accelerazione, velocità di imbardata, pressione e viscosità o densità dei liquidi.

- Dispositivi MEMS ottici, come microspecchi a scansione e interruttori ottici, basati su MEMS piezoelettrici.

- Dispositivi acustici, come SAW, BAW o FBAR e trasduttori acustici, basati su MEMS piezoelettrici, come microfoni o altoparlanti.

- Dispositivi piezoelettrici per la raccolta di energia.

- Aspetti specifici del packaging di dispositivi e sistemi piezoelettrici.

- Sistemi a basso e nullo consumo, caratterizzati da sensori a basso consumo combinati con dispositivi di raccolta dell'energia, di cui almeno uno basato su MEMS piezoelettrici.