Manuale di tecnologia del silicio a semiconduttore

Titolo originale:

Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Contenuto del libro:

Questo manuale è una sintesi completa della scienza, della tecnologia e della produzione dei materiali semiconduttori in silicio. Ogni proprietà conosciuta del silicio è descritta in dettaglio.

È inclusa una serie completa di diagrammi di fase binari. Vengono inoltre approfonditi aspetti pratici come la manipolazione dei materiali, la sicurezza, la riduzione delle impurità e dei difetti. I fondamenti nelle aree dei composti precursori del silicio, del polisilicio, della crescita dei cristalli di silicio, della fabbricazione dei wafer, della deposizione epitassiale e CVD sono affrontati da esperti in questi campi.

Le proprietà dei materiali trattate includono le proprietà elettriche, ottiche e meccaniche, le impurità di livello profondo e la vita dei portatori, la termochimica e sezioni specifiche sulle impurità di ossigeno, carbonio e azoto. Il libro contiene un'ampia serie di riferimenti, tabelle delle costanti dei materiali e delle proprietà del silicio e una presentazione dello stato dell'arte della produzione dei materiali.