Manuale di elipsometria

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Titolo originale:

Handbook of Ellipsometry

Contenuto del libro:

Il Manuale di Ellipsometria è un testo fondamentale su un argomento sempre più critico. L'elipsometria, una tecnica di misurazione basata sulle variazioni di fase e ampiezza della luce polarizzata, sta diventando popolare in una vasta gamma di applicazioni a causa della crescente miniaturizzazione dei circuiti integrati e dei progressi nella conoscenza delle macromolecole biologiche derivanti dalla ricerca sul DNA e sulla superficie delle proteine.

L'elipsometria non entra in contatto con i campioni né li danneggia ed è una tecnica di misura ideale per determinare le proprietà ottiche e fisiche dei materiali su scala nanometrica. Con l'accelerazione di nuovi strumenti e applicazioni, questo libro fornisce una base essenziale per l'attuale scienza e tecnologia dell'ellissometria a scienziati e ingegneri dell'industria e del mondo accademico all'avanguardia negli sviluppi della nanotecnologia nella strumentazione, nei circuiti integrati, nella biotecnologia e nella farmaceutica.

Diviso in quattro parti, questo manuale completo copre la teoria dell'ellissometria, la strumentazione, le applicazioni e le aree emergenti. Esperti del settore hanno contribuito alla stesura dei dodici capitoli che trattano vari aspetti dell'ellissometria.