Introduzione alla nanometrologia con fasci di ioni focalizzati

Titolo originale:

Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

Contenuto del libro:

Questo libro descrive i moderni microscopi a fascio ionico focalizzato e le tecniche che possono essere utilizzate per aiutare la metrologia dei materiali e come strumenti per la fabbricazione di dispositivi che a loro volta sono utilizzati in molti altri aspetti della metrologia fondamentale.