Fondamenti di sistemi microelettromeccanici (Mems)

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Titolo originale:

Fundamentals of Microelectromechanical Systems (Mems)

Contenuto del libro:

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Una guida completa all'ingegneria, alla fabbricazione e alle applicazioni dei MEMS.

Questa guida ingegneristica completa mostra, passo dopo passo, come incorporare la tecnologia microelettromeccanica (MEMS) all'avanguardia per abilitare le funzionalità dell'Internet delle cose (IoT) e dell'intelligenza artificiale (AI) nei vostri progetti. Scritto da un docente esperto e da un esperto di microelettronica, Fundamentals of Microelectromechanical Systems (MEMS) spiega chiaramente le tecnologie e i metodi più recenti. Esempi del mondo reale, illustrazioni, domande e problemi approfonditi rafforzano gli argomenti chiave. I lettori potranno anche dare uno sguardo al futuro dei MEMS nella forza lavoro ed esplorare la ricerca e lo sviluppo dei MEMS.

La trattazione comprende:

⬤ Microfabbricazione di base.

⬤ La microlavorazione.

⬤ Principi di trasduzione.

⬤ MEMS ottici e a radiofrequenza.

⬤ Meccanica e sensori inerziali.

⬤ Proprietà dei film sottili e sensori SAW/BAW.

⬤ Sensori di pressione e microfoni.

⬤ Film piezoelettrici.

⬤ Proprietà dei materiali espresse come tensori.

⬤ Sistemi microfluidici e BioMEMS.

⬤ MEMS di potenza.

⬤ Rumori elettronici, circuiti di interfaccia e oscillatori.