Fondamenti di micro/nano fabbricazione

Titolo originale:

Fundamental of micro/nano fabrication

Contenuto del libro:

In questo libro viene descritto il processo di crescita termica dell'ossido umido dipendente dallo stress. Il tasso di ossidazione del silicio è funzione dell'orientamento del cristallo e dell'angolo di intersezione del piano.

Vengono descritti i processi di microlavorazione della superficie del silicio per ottenere una struttura meccanica indipendente e caratteristiche tridimensionali uniche. Durante la microfabbricazione è necessario considerare la microlavorazione e il mordenzante. Lo schema e la micrografia SEM descrivono il metallo (alluminio) spruzzato sulla sonda a cantilever piramidale in ossido per formare una nano-apertura metallica.

Il concetto teorico di campo vicino e campo lontano è stato spiegato con l'aiuto di array di cantilever NSOM triangolari e rettangolari fabbricati con la sonda NSOM. Per ridurre il livello di rumore e garantire un'elevata trasmissione ottica attraverso la sonda, la sonda a cantilever NSOM progettata è dotata di una massa di Si al di sotto della sonda.

I componenti principali da caratterizzare per i cantilever sono la trasmissione ottica attraverso la sonda NSOM e la frequenza di risonanza. La frequenza di risonanza dei cantilever varia a seconda delle dimensioni.

La trasmissione ottica viene misurata attraverso l'apertura della sonda NSOM cantilever.