Dinamica dei microsistemi

Titolo originale:

Microsystems Dynamics

Contenuto del libro:

Prefazione; Introduzione ai microsistemi; Tecnologie di fabbricazione dei microsistemi; Panoramica; Tecnologia di microlavorazione della superficie del nichel per la fabbricazione di microinterruttori; Litografia UV per la fabbricazione di micromotori; Attuatori MEMS comuni; Condensatori a piatti paralleli; Azionamenti a pettine; Micromotori elettrostatici; Microinterruttori elettrostatici; Introduzione alla modellazione a campi accoppiati; Attuazione elettrostatica e instabilità pull-in; Smorzamento viscoso dell'aria; Interazioni vibro-impatto; Test sperimentali sulla dinamica dei microsistemi; Metodi di eccitazione delle vibrazioni; Tecniche ottiche per la misurazione delle vibrazioni delle microstrutture; Studio di macrosistemi e microsistemi elastici a vibrazione; Panoramica dei nuovi effetti della dinamica non lineare nei macrosistemi a vibrazione; Analisi della dinamica del campo accoppiato in un microattuatore elettrostatico a contatto; Modellazione numerica e analisi dell'interazione fluido-strutturale; Modellazione numerica e analisi dell'interazione elettrostatico-strutturale; Modellazione numerica e analisi dell'interazione vibro-impatto; Analisi numerica del micromotore; Modellazione agli elementi finiti del micromotore; Analisi modale; Controllo del micromotore; Modello analitico di un micromotore; Fondamenti di geometria del micromotore; Analisi della coppia; Linee guida per la progettazione del micromotore; Riferimenti.