Chimica della deposizione di strati atomici

Titolo originale:

Chemistry of Atomic Layer Deposition

Contenuto del libro:

Questo libro aiuterà i chimici e i non chimici a comprendere i fondamenti della chimica delle superfici e della progettazione dei precursori, a capire come questi ultimi guidino i processi di deposizione di strati atomici e come l'interazione superficie-precursore governi i processi di deposizione di strati atomici.

I principi fondamentali della deposizione di strati atomici si basano sulla chimica di un precursore con una superficie.